❇️ میکروسکوپ الکترونی روبشی 🔸 نخستین تلاش‌ها در زمینه‌ی توسعه‌ی میکروسکوپ‌های روبشی به سال 1935 بازمی‌گردد که ماکس نول در آلمان پژوهش‌هایی در زمینه‌ی پدیده‌های الکترونیک نوری انجام داد و تصویری را بر اساس کانتراست کانالی الکترونی از فولاد سیلیسیمی به دست آورد. 🔸 مانفرد وان‌آردن تحقیقات بیشتری را بر روی اصول فیزیکی SEM و برهم‌کنش آن با نمونه انجام داد و توانست در سال 1938 با اضافه کردن سیم پیچ‌های روبشی به یک TEM، میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی بسازد.با این حال دستگاه او از نظر عملی مورد استقبال قرار نگرفت. 🔻🔺 استفاده از SEM برای مطالعه‌ی نمونه‌های ضخیم غیرشفاف اولین بار توسط ژورکین و همکاران در سال 1942 در ایالات متحده‌آمریکا انجام شد. 🔸🔹 توسعه‌ی بیشتر SEM توسط پروفسور چارلزاُتلی و همکارش گَری استوارت در دانشگاه کمبریج بریتانیا انجام رسید.